类金刚石薄膜制备方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200810122635.3

申请日：

2008-06-17

公开(公告)号：

CN101319324A

公开(公告)日：

2008-12-10

发明(设计)人：

庄严

申请人：

申请人地址：

225500江苏省姜堰市南环西路姜堰市高新技术创业中心

IPC主分类号：

C23C2800

IPC分类号：

C23C1406 C23C1626

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-02-04	实质审查的生效	实质审查的生效
2010-06-23	授权	授权
2012-04-11	专利实施许可合同备案的生效、变更及注销	专利实施许可合同备案的生效号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101317921535 IPC(主分类):C23C 28/00 专利申请号:2008101226353 专利号:ZL2008101226353 合同备案号:2012320010007 让与人:庄严受让人:昆山立特纳米电子科技有限公司发明名称:类金刚石薄膜制备方法申请日:20080617 公开日:20081210 授权公告日:20100623 许可种类:独占许可备案日期:20120213
2008-12-10	公开	公开

共 50 条

[1]

脉冲放电沉积制备类金刚石薄膜的方法 [P].

陈伟 .

中国专利 :CN102732851A ,2012-10-17

[2]

制备金刚石和类金刚石薄膜的方法 [P].

马志斌 ;

汪建华 .

中国专利 :CN1410590A ,2003-04-16

[3]

二步法脉冲沉积制备高密度类金刚石薄膜的方法 [P].

陈伟 .

中国专利 :CN102776485A ,2012-11-14

[4]

基于类金刚石薄膜中间层的纳米金刚石薄膜制备方法 [P].

汪琳 ;

李泰然 ;

姜亦杨 ;

黄健 ;

王林军 .

中国专利 :CN109811303A ,2019-05-28

[5]

类金刚石薄膜 [P].

田梦军 .

中国专利 :CN107287571A ,2017-10-24

[6]

类金刚石薄膜及制备方法 [P].

胡琅 ;

徐平 ;

侯立涛 ;

冯杰 ;

胡强 ;

吴猛 .

中国专利 :CN113529031A ,2021-10-22

[7]

类金刚石薄膜及其制备方法 [P].

甄洪宾 .

中国专利 :CN102658684B ,2012-09-12

[8]

一种制备类金刚石薄膜电极的方法 [P].

朱永春 ;

王艳 ;

李华欣 .

中国专利 :CN101255562B ,2008-09-03

[9]

类金刚石薄膜镀膜方法 [P].

颜士杰 .

中国专利 :CN1796592A ,2006-07-05

[10]

金属表面镀制类金刚石薄膜的方法 [P].

陈伟 .

中国专利 :CN103510053A ,2014-01-15

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