一种石墨盘

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专利类型
实用新型
申请号
CN202020059232.5
申请日
2020-01-13
公开(公告)号
CN211848131U
公开(公告)日
2020-11-03
发明(设计)人
周宏敏 林兓兓 李政鸿 张家豪
申请人
申请人地址
241000 安徽省芜湖市经济技术开发区东梁路8号
IPC主分类号
C23C16458
IPC分类号
H01L21673
代理机构
代理人
法律状态
授权
国省代码
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共 50 条
[1]
一种石墨盘 [P]. 
周宏敏 ;
王瑜 ;
唐超 ;
李政鸿 ;
林兓兓 ;
张家豪 .
中国专利 :CN211848133U ,2020-11-03
[2]
一种石墨盘 [P]. 
郭晃亨 ;
周文斌 ;
张飞 ;
郝兆飞 ;
李政鸿 ;
林兓兓 ;
张家豪 .
中国专利 :CN211654784U ,2020-10-09
[3]
一种石墨盘 [P]. 
周宏敏 ;
唐超 ;
王瑜 ;
李政鸿 ;
张佳胜 ;
林兓兓 ;
张家豪 .
中国专利 :CN210711736U ,2020-06-09
[4]
一种石墨盘 [P]. 
周宏敏 ;
唐超 ;
王瑜 ;
李政鸿 ;
张佳胜 ;
林兓兓 ;
张家豪 .
中国专利 :CN210245473U ,2020-04-03
[5]
一种石墨载盘装置 [P]. 
万荣群 .
中国专利 :CN220753403U ,2024-04-09
[6]
一种石墨盘 [P]. 
林传强 ;
黄胜蓝 ;
季辉 .
中国专利 :CN223280974U ,2025-08-29
[7]
一种石墨盘及其配套衬底 [P]. 
周宏敏 ;
唐超 ;
王瑜 ;
林兓兓 ;
张家豪 .
中国专利 :CN210314481U ,2020-04-14
[8]
一种石墨盘组件 [P]. 
邱旋 ;
王虎 ;
安海岩 .
中国专利 :CN216688416U ,2022-06-07
[9]
一种石墨盘治具 [P]. 
冯宽 ;
肖崇武 ;
张铭信 ;
陈铭胜 .
中国专利 :CN217231018U ,2022-08-19
[10]
一种石墨盘治具 [P]. 
尤金金 ;
吴楚葵 .
中国专利 :CN220871468U ,2024-04-30