一种石墨载盘装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202322460195.5

申请日：

2023-09-11

公开(公告)号：

CN220753403U

公开(公告)日：

2024-04-09

发明(设计)人：

万荣群

申请人：

无锡海飞凌科技有限公司

申请人地址：

214203 江苏省无锡市宜兴经济技术开发区永盛路

IPC主分类号：

H01L21/687

IPC分类号：

H01L21/67 B08B3/02

代理机构：

无锡知初知识产权代理事务所(普通合伙) 32418

代理人：

张超

法律状态：

授权

国省代码：

安徽省宣城市

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2024-04-09	授权	授权

共 50 条

[1]

一种石墨载盘装置 [P].

肖遥 ;

陈笔宇 ;

程伟 ;

林志园 ;

张剑 .

中国专利 :CN214588766U ,2021-11-02

[2]

一种石墨盘 [P].

周宏敏 ;

王瑜 ;

唐超 ;

李政鸿 ;

林兓兓 ;

张家豪 .

中国专利 :CN211848133U ,2020-11-03

[3]

一种石墨盘 [P].

郭晃亨 ;

周文斌 ;

张飞 ;

郝兆飞 ;

李政鸿 ;

林兓兓 ;

张家豪 .

中国专利 :CN211654784U ,2020-10-09

[4]

一种石墨盘 [P].

周宏敏 ;

唐超 ;

王瑜 ;

李政鸿 ;

张佳胜 ;

林兓兓 ;

张家豪 .

中国专利 :CN210711736U ,2020-06-09

[5]

一种石墨盘 [P].

周宏敏 ;

唐超 ;

王瑜 ;

李政鸿 ;

张佳胜 ;

林兓兓 ;

张家豪 .

中国专利 :CN210245473U ,2020-04-03

[6]

一种石墨盘 [P].

周宏敏 ;

林兓兓 ;

李政鸿 ;

张家豪 .

中国专利 :CN211848131U ,2020-11-03

[7]

一种外延用载盘 [P].

程志青 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 .

中国专利 :CN208422879U ,2019-01-22

[8]

载盘装置 [P].

陈江卡 ;

张志航 ;

伏星 ;

罗俊一 ;

董伟淳 .

中国专利 :CN223377234U ,2025-09-23

[9]

一种石墨盘 [P].

林传强 ;

黄胜蓝 ;

季辉 .

中国专利 :CN223280974U ,2025-08-29

[10]

晶片载盘 [P].

寻飞林 ;

宋长伟 ;

江汉 ;

黄理承 ;

徐志波 ;

黄文宾 ;

李政鸿 ;

林兓兓 ;

蔡吉明 ;

张家宏 .

中国专利 :CN207347657U ,2018-05-11

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