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一种石墨载盘装置
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120379849.X
申请日：
2021-02-19
公开(公告)号：
CN214588766U
公开(公告)日：
2021-11-02
发明(设计)人：
肖遥
陈笔宇
程伟
林志园
张剑
申请人：
申请人地址：
361101 福建省厦门市厦门火炬高新区（翔安）产业区翔天路259-269号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-11-02 | 授权 | 授权 |