一种石墨载盘及化学气象沉积设备

被引：0

申请号：

CN202221260241.6

申请日：

2022-05-24

公开(公告)号：

CN218059196U

公开(公告)日：

2022-12-16

发明(设计)人：

熊小亮焦二斌张铭信陈铭胜

申请人：

申请人地址：

330000 江西省南昌市南昌高新技术产业开发区天祥北大道1717号

IPC主分类号：

C23C16458

IPC分类号：

C23C1634 C30B2512 C30B2940

代理机构：

南昌旭瑞知识产权代理事务所(普通合伙) 36150

代理人：

彭琰

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-12-16	授权	授权

共 50 条

[1]

石墨基板的化学气象沉积装置 [P].

程海林 ;

朱帅 .

中国专利 :CN222362189U ,2025-01-17

[2]

化学气象沉积设备 [P].

周坤玲 .

中国专利 :CN213680881U ,2021-07-13

[3]

一种化学气象沉积反应腔的盖板及化学气象沉积反应装置 [P].

周海滨 .

中国专利 :CN223705729U ,2025-12-23

[4]

一种化学气象沉积气路装置 [P].

袁稳 ;

李兵 .

中国专利 :CN221822326U ,2024-10-11

[5]

一种化学气象沉积CVD外管 [P].

张忠恕 ;

王连连 ;

赵鹤 ;

陈强 ;

于洋 ;

冯继瑶 ;

张娟 ;

边占宁 ;

孙云涛 ;

李宝军 ;

张连兴 ;

王建立 .

中国专利 :CN213053559U ,2021-04-27

[6]

一种石墨载盘装置 [P].

肖遥 ;

陈笔宇 ;

程伟 ;

林志园 ;

张剑 .

中国专利 :CN214588766U ,2021-11-02

[7]

一种石墨盘及沉积装置 [P].

林忠宝 ;

彭伟伦 ;

李明照 .

中国专利 :CN213652635U ,2021-07-09

[8]

一种石墨盘及沉积装置 [P].

林忠宝 ;

彭伟伦 ;

李明照 .

中国专利 :CN211284533U ,2020-08-18

[9]

一种用于化学气象沉积设备的高效冷阱装置 [P].

赵磊 ;

赵刚义 .

中国专利 :CN222861625U ,2025-05-13

[10]

一种传送盘及化学气相沉积设备 [P].

张雷 ;

肖高勤 .

中国专利 :CN222274684U ,2024-12-31

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