环状化合物、其制造方法、组合物以及抗蚀图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280039313.7

申请日：

2012-08-09

公开(公告)号：

CN103717562B

公开(公告)日：

2014-04-09

发明(设计)人：

越后雅敏山川雅子

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C3942

IPC分类号：

C07C3720 C07C3917 G03F7004 G03F7038 H01L21027

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2014-04-09	公开	公开
2014-06-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件序号:101583002436 IPC(主分类):C07C 39/42 专利申请号:2012800393137 申请日:20120809 号牌文件类型代码:1604
2016-08-24	授权	授权

共 50 条

[1]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

山川雅子 .

中国专利 :CN103946204B ,2014-07-23

[2]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

山川雅子 .

中国专利 :CN103958455A ,2014-07-30

[3]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

林宏美 .

中国专利 :CN102498104A ,2012-06-13

[4]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

林宏美 .

中国专利 :CN102597034A ,2012-07-18

[5]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

林宏美 ;

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN102596874A ,2012-07-18

[6]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

林宏美 .

中国专利 :CN102753509A ,2012-10-24

[7]

化合物、树脂、组合物、以及抗蚀图案形成方法和图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109790175A ,2019-05-21

[8]

化合物、抗蚀剂组合物及使用其的抗蚀图案形成方法 [P].

樋田匠 ;

越后雅敏 ;

佐藤隆 ;

清水洋子 .

中国专利 :CN107533291A ,2018-01-02

[9]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN110023277A ,2019-07-16

[10]

化合物、树脂、组合物以及抗蚀图案形成方法及电路图案形成方法 [P].

越后雅敏 .

中国专利 :CN109476575A ,2019-03-15

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