环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201280056230.9

申请日：

2012-11-14

公开(公告)号：

CN103946204B

公开(公告)日：

2014-07-23

发明(设计)人：

越后雅敏山川雅子

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

C07C43215

IPC分类号：

C07C3720 C07C4116 G03F7004 G03F7038 H01L21027

代理机构：

北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277

代理人：

刘新宇;李茂家

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-24	授权	授权
2014-09-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101587074837 IPC(主分类):C07C 43/215 专利申请号:2012800562309 申请日:20121114
2014-07-23	公开	公开

共 50 条

[1]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

山川雅子 .

中国专利 :CN103958455A ,2014-07-30

[2]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

林宏美 .

中国专利 :CN102498104A ,2012-06-13

[3]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

林宏美 .

中国专利 :CN102597034A ,2012-07-18

[4]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

林宏美 .

中国专利 :CN102753509A ,2012-10-24

[5]

环状化合物、其制造方法、辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

林宏美 ;

越后雅敏 ;

小黑大 .

中国专利 :CN102596874A ,2012-07-18

[6]

环状化合物、其制造方法、组合物以及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

山川雅子 .

中国专利 :CN103717562B ,2014-04-09

[7]

辐射敏感组合物及抗蚀图案形成方法 [P].

越后雅敏 ;

樋田匠 ;

佐藤隆 .

中国专利 :CN107430337A ,2017-12-01

[8]

化合物、抗蚀剂组合物及使用其的抗蚀图案形成方法 [P].

樋田匠 ;

越后雅敏 ;

佐藤隆 ;

清水洋子 .

中国专利 :CN107533291A ,2018-01-02

[9]

锍化合物、抗蚀剂组合物及图案形成方法 [P].

大桥正树 ;

藤原敬之 ;

谷口良辅 ;

本田和也 ;

铃木贵大 .

中国专利 :CN107935899B ,2018-04-20

[10]

环状化合物、其生产方法、放射线敏感性组合物和抗蚀图案形成方法 [P].

高须贺大晃 ;

越后雅敏 ;

冈田悠 .

中国专利 :CN102666461B ,2012-09-12

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