一种晶圆倒片机的盘中放片定位装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201920115637.3

申请日：

2019-01-23

公开(公告)号：

CN209282180U

公开(公告)日：

2019-08-20

发明(设计)人：

刘纯君

申请人：

申请人地址：

200233 上海市徐汇区虹梅路1801号A区凯科国际大厦305-308室

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L2168

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

陶金龙;张磊

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-08-20	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆倒片机的盘盖定位装置 [P].

刘纯君 .

中国专利 :CN209282179U ,2019-08-20

[2]

一种晶圆倒片机的盘和盘盖分离装置 [P].

徐韦明 .

中国专利 :CN209282181U ,2019-08-20

[3]

一种晶圆倒片机中盘的气密性检测装置 [P].

徐韦明 .

中国专利 :CN209280219U ,2019-08-20

[4]

晶圆倒片机 [P].

王帅 ;

张豹 .

中国专利 :CN305479547S ,2019-12-06

[5]

一种晶圆片定位装置 [P].

刘姣龙 ;

刘建伟 ;

刘园 ;

武卫 ;

由佰玲 ;

裴坤羽 ;

孙晨光 ;

王彦君 ;

祝斌 ;

常雪岩 ;

杨春雪 ;

谢艳 ;

袁祥龙 ;

张宏杰 ;

刘秒 ;

吕莹 ;

徐荣清 .

中国专利 :CN213905333U ,2021-08-06

[6]

一种晶圆自动倒片机 [P].

王军才 .

中国专利 :CN223378142U ,2025-09-23

[7]

晶圆倒片装置 [P].

姚世杰 ;

蒋同洋 .

中国专利 :CN218385157U ,2023-01-24

[8]

一种晶圆倒片机 [P].

张刊 .

中国专利 :CN120854352A ,2025-10-28

[9]

一种晶圆片切割定位装置 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN214978638U ,2021-12-03

[10]

一种晶圆倒片装置 [P].

王仁书 ;

薛新兵 .

中国专利 :CN216362125U ,2022-04-22

← 1 2 3 4 5 →