一种晶圆片定位装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120028419.3

申请日：

2021-01-07

公开(公告)号：

CN213905333U

公开(公告)日：

2021-08-06

发明(设计)人：

刘姣龙刘建伟刘园武卫由佰玲裴坤羽孙晨光王彦君祝斌常雪岩杨春雪谢艳袁祥龙张宏杰刘秒吕莹徐荣清

申请人：

申请人地址：

300384 天津市滨海新区华苑产业区（环外）海泰东路12号

IPC主分类号：

H01L2168

IPC分类号：

H01L2166 H01L2167

代理机构：

天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213

代理人：

栾志超

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

一种晶圆片盒定位装置 [P].

唐伟 ;

叶竹之 .

中国专利 :CN222637262U ,2025-03-18

[2]

一种晶圆片切割定位装置 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN214978638U ,2021-12-03

[3]

一种特种晶圆片定位装置 [P].

张霖 ;

张泳 .

中国专利 :CN206322684U ,2017-07-11

[4]

晶圆片定位装置的定位方法 [P].

王建波 ;

王胜利 ;

胡泓 .

中国专利 :CN100508158C ,2008-02-20

[5]

一种晶圆定位装置 [P].

张琪 ;

符友银 ;

李永佳 ;

夏荣祥 ;

曹艳斌 ;

杜英林 .

中国专利 :CN221057393U ,2024-05-31

[6]

具有晶圆片定位功能的晶圆片承载装置 [P].

张容华 ;

郭大豪 ;

张茂展 .

中国专利 :CN221176190U ,2024-06-18

[7]

一种晶圆片倒角设备 [P].

陈峰 ;

洪章源 .

中国专利 :CN215470117U ,2022-01-11

[8]

晶圆定位装置 [P].

张冉 ;

王凡 .

中国专利 :CN222168363U ,2024-12-13

[9]

一种晶圆倒片机的盘中放片定位装置 [P].

刘纯君 .

中国专利 :CN209282180U ,2019-08-20

[10]

一种晶圆片平边定位装置 [P].

周国成 .

中国专利 :CN120033135A ,2025-05-23

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