负压式硅片传送流线及硅片检测分选设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110495271.9

申请日：

2021-05-07

公开(公告)号：

CN112908915A

公开(公告)日：

2021-06-04

发明(设计)人：

曹葵康孙靖顾烨胡辉来孙俊苏傲钱春辉程璧张体瑞温延培

申请人：

申请人地址：

215000 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

IPC主分类号：

H01L21677

IPC分类号：

H01L2167

代理机构：

苏州国诚专利代理有限公司 32293

代理人：

马振华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-22	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/677 申请日:20210507
2021-06-04	公开	公开
2021-08-06	授权	授权

共 50 条

[1]

硅片负压顶升装置及硅片检测分选设备 [P].

曹葵康 ;

孙靖 ;

钱春辉 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

苏傲 ;

胡辉来 ;

程璧 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN214705892U ,2021-11-12

[2]

集约式硅片输送流线及硅片检测分选设备 [P].

周禹 ;

毕喜行 ;

全晓冬 ;

陈康 ;

张天华 ;

肖赖发 .

中国专利 :CN222801768U ,2025-04-25

[3]

硅片检测分选设备 [P].

黄鹏飞 .

中国专利 :CN217141240U ,2022-08-09

[4]

硅片导正装置及硅片检测分选设备 [P].

孙靖 ;

曹葵康 ;

程璧 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

胡辉来 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN215390867U ,2022-01-04

[5]

上置式硅片收纳装置及硅片检测分选设备 [P].

曹葵康 ;

孙靖 ;

胡辉来 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN215390948U ,2022-01-04

[6]

导正检测装置及硅片检测分选设备 [P].

孙靖 ;

曹葵康 ;

胡辉来 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN113510076A ,2021-10-19

[7]

集成式检测装置及硅片检测分选设备 [P].

曹葵康 ;

孙靖 ;

苏傲 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

胡辉来 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN215390889U ,2022-01-04

[8]

碎料检测剔除装置及硅片检测分选设备 [P].

温延培 ;

孙靖 ;

曹葵康 ;

苏傲 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

胡辉来 ;

张体瑞 .

中国专利 :CN213558494U ,2021-06-29

[9]

点检装置及硅片检测分选设备 [P].

温延培 ;

曹葵康 ;

孙靖 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

胡辉来 ;

张体瑞 .

中国专利 :CN216150401U ,2022-04-01

[10]

一种硅片孔洞检测装置及硅片分选设备 [P].

李文 ;

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

黄莉莉 .

中国专利 :CN211070906U ,2020-07-24

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