硅片负压顶升装置及硅片检测分选设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202120969842.3

申请日：

2021-05-07

公开(公告)号：

CN214705892U

公开(公告)日：

2021-11-12

发明(设计)人：

曹葵康孙靖钱春辉顾烨孙俊苏傲胡辉来程璧张体瑞温延培

申请人：

申请人地址：

215163 江苏省苏州市高新区科技城浔阳江路70号

IPC主分类号：

H01L21687

IPC分类号：

H01L21683 H01L21677 H01L2167

代理机构：

苏州国诚专利代理有限公司 32293

代理人：

马振华

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-12	授权	授权

共 50 条

[1]

负压式硅片传送流线及硅片检测分选设备 [P].

曹葵康 ;

孙靖 ;

顾烨 ;

胡辉来 ;

孙俊 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN112908915A ,2021-06-04

[2]

硅片导正装置及硅片检测分选设备 [P].

孙靖 ;

曹葵康 ;

程璧 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

胡辉来 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN215390867U ,2022-01-04

[3]

上置式硅片收纳装置及硅片检测分选设备 [P].

曹葵康 ;

孙靖 ;

胡辉来 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

张体瑞 ;

温延培 .

中国专利 :CN215390948U ,2022-01-04

[4]

硅片检测分选设备 [P].

黄鹏飞 .

中国专利 :CN217141240U ,2022-08-09

[5]

点检装置及硅片检测分选设备 [P].

温延培 ;

曹葵康 ;

孙靖 ;

顾烨 ;

孙俊 ;

苏傲 ;

钱春辉 ;

程璧 ;

胡辉来 ;

张体瑞 .

中国专利 :CN216150401U ,2022-04-01

[6]

一种硅片孔洞检测装置及硅片分选设备 [P].

李文 ;

李泽通 ;

李昶 ;

徐飞 ;

黄莉莉 .

中国专利 :CN211070906U ,2020-07-24

[7]

集约式硅片输送流线及硅片检测分选设备 [P].

周禹 ;

毕喜行 ;

全晓冬 ;

陈康 ;

张天华 ;

肖赖发 .

中国专利 :CN222801768U ,2025-04-25

[8]

一种硅片检测装置及硅片分选设备 [P].

李文 ;

李泽通 ;

李昶 ;

周凡 ;

徐飞 ;

黄莉莉 ;

薛冬冬 .

中国专利 :CN214516057U ,2021-10-29

[9]

一种硅片检测装置及硅片分选设备 [P].

张华民 ;

徐亚平 ;

徐炜 .

中国专利 :CN217830827U ,2022-11-18

[10]

一种硅片检测装置及硅片分选设备 [P].

李泽通 ;

李昶 ;

刘世挺 ;

徐飞 ;

韩杰 ;

薛冬冬 ;

卞海峰 ;

顾晓奕 .

中国专利 :CN216937150U ,2022-07-12

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