研磨垫及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200680004397.5

申请日：

2006-02-27

公开(公告)号：

CN101115779A

公开(公告)日：

2008-01-30

发明(设计)人：

堂浦真人福田武司小川一幸数野淳濑柳博中森雅彦山田孝敏下村哲生

申请人：

申请人地址：

日本国大阪府

IPC主分类号：

C08G1800

IPC分类号：

C08G1848 B24B3700 C08J514 C08G1810 H01L21304 C08G1832 C08G10100

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李贵亮

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2008-01-30	公开	公开
2012-09-19	授权	授权
2016-09-28	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739474070 IPC(主分类):C08G 18/66 专利号:ZL2006800043975 登记生效日:20160905 变更事项:专利权人变更前权利人:东洋橡胶工业株式会社变更后权利人:罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本国大阪府变更后权利人:美国特拉华州
2008-03-19	实质审查的生效	实质审查的生效

共 50 条

[1]

研磨垫及其制造方法 [P].

中井良之 ;

小川一幸 ;

中村贤治 .

中国专利 :CN103153539A ,2013-06-12

[2]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN102152232A ,2011-08-17

[3]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN101583464A ,2009-11-18

[4]

研磨垫及其制造方法 [P].

清水绅司 .

中国专利 :CN106457510A ,2017-02-22

[5]

研磨垫及其制造方法 [P].

中井良之 ;

小川一幸 ;

中村贤治 .

中国专利 :CN103180100A ,2013-06-26

[6]

研磨垫及其制造方法 [P].

清水绅司 .

中国专利 :CN106457509A ,2017-02-22

[7]

研磨垫的制造方法 [P].

佐藤彰则 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

福田武司 ;

堂浦真人 .

中国专利 :CN101663132A ,2010-03-03

[8]

一种研磨垫、研磨垫制造方法及一种半导体器件制造方法 [P].

数野淳 ;

小川一幸 ;

中森雅彦 ;

山田孝敏 ;

下村哲生 .

中国专利 :CN101530988B ,2009-09-16

[9]

研磨垫及其制造方法 [P].

柏田太志 ;

小池坚一 ;

徳重伸 .

中国专利 :CN105359258B ,2016-02-24

[10]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

石坂信吉 .

中国专利 :CN102227289B ,2011-10-26

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