研磨垫及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201080069500.0

申请日：

2010-10-26

公开(公告)号：

CN103180100A

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

中井良之小川一幸中村贤治

申请人：

申请人地址：

日本大阪府大阪市

IPC主分类号：

B24B3700

IPC分类号：

B28D504 H01L21304

代理机构：

北京北翔知识产权代理有限公司 11285

代理人：

钟守期;苏萌

法律状态：

专利申请权、专利权的转移

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-10-05	专利申请权、专利权的转移	专利权的转移号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101739581651 IPC(主分类):B24B 37/24 专利号:ZL2010800695000 登记生效日:20160907 变更事项:专利权人变更前权利人:东洋橡胶工业株式会社变更后权利人:罗门哈斯电子材料CMP控股股份有限公司变更事项:地址变更前权利人:日本大阪府大阪市变更后权利人:美国特拉华州
2016-01-13	授权	授权
2021-10-12	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):B24B 37/24 申请日:20101026 授权公告日:20160113 终止日期:20201026
2013-07-24	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101497335979 IPC(主分类):B24B 37/00 专利申请号:2010800695000 申请日:20101026
2013-06-26	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨垫及其制造方法 [P].

中井良之 ;

小川一幸 ;

中村贤治 .

中国专利 :CN103153539A ,2013-06-12

[2]

研磨垫及其制造方法 [P].

堂浦真人 ;

福田武司 ;

小川一幸 ;

数野淳 ;

濑柳博 ;

中森雅彦 ;

山田孝敏 ;

下村哲生 .

中国专利 :CN101115779A ,2008-01-30

[3]

研磨垫及其制造方法 [P].

丝山光纪 ;

高桥大介 .

中国专利 :CN106163741A ,2016-11-23

[4]

研磨垫及其制造方法 [P].

清水绅司 .

中国专利 :CN106457510A ,2017-02-22

[5]

研磨垫、研磨垫的制造方法和研磨方法 [P].

小田善之 ;

柴雄一郎 .

中国专利 :CN109311138A ,2019-02-05

[6]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN102152232A ,2011-08-17

[7]

研磨垫及其制造方法 [P].

柏田太志 ;

小池坚一 ;

徳重伸 .

中国专利 :CN105359258B ,2016-02-24

[8]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN101583464A ,2009-11-18

[9]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

石坂信吉 .

中国专利 :CN102227289B ,2011-10-26

[10]

研磨垫及其制造方法 [P].

宫坂博仁 ;

立野哲平 ;

松冈立马 ;

栗原浩 ;

三国匠 .

中国专利 :CN111212705B ,2020-05-29

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