研磨垫及其制造方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880066479.5

申请日：

2018-10-12

公开(公告)号：

CN111212705B

公开(公告)日：

2020-05-29

发明(设计)人：

宫坂博仁立野哲平松冈立马栗原浩三国匠

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

B24B3724

IPC分类号：

H01L21304

代理机构：

北京银龙知识产权代理有限公司 11243

代理人：

陈彦;孔博

法律状态：

授权

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2022-03-01	授权	授权
2020-10-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B24B 37/24 申请日:20181012
2020-05-29	公开	公开

共 50 条

[1]

研磨垫及其制造方法 [P].

中井良之 ;

小川一幸 ;

中村贤治 .

中国专利 :CN103153539A ,2013-06-12

[2]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN102152232A ,2011-08-17

[3]

研磨垫及其制造方法 [P].

柏田太志 ;

小池坚一 ;

徳重伸 .

中国专利 :CN105359258B ,2016-02-24

[4]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

广濑纯司 ;

中村贤治 ;

堂浦真人 ;

佐藤彰则 .

中国专利 :CN101583464A ,2009-11-18

[5]

研磨垫及其制造方法 [P].

中井良之 ;

小川一幸 ;

中村贤治 .

中国专利 :CN103180100A ,2013-06-26

[6]

研磨垫及其制造方法 [P].

丝山光纪 ;

高桥大介 .

中国专利 :CN106163741A ,2016-11-23

[7]

研磨垫及其制造方法 [P].

福田武司 ;

石坂信吉 .

中国专利 :CN102227289B ,2011-10-26

[8]

研磨垫及其制造方法 [P].

堂浦真人 ;

福田武司 ;

小川一幸 ;

数野淳 ;

濑柳博 ;

中森雅彦 ;

山田孝敏 ;

下村哲生 .

中国专利 :CN101115779A ,2008-01-30

[9]

研磨垫及其制造方法 [P].

清水绅司 .

中国专利 :CN106457509A ,2017-02-22

[10]

研磨垫及其制造方法 [P].

清水绅司 .

中国专利 :CN106457510A ,2017-02-22

← 1 2 3 4 5 →