一种磁控溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201910352464.1

申请日：

2019-04-29

公开(公告)号：

CN110144558B

公开(公告)日：

2019-08-20

发明(设计)人：

王伟涛王永超杨玉杰李建勋付宪坡张军营

申请人：

申请人地址：

450000 河南省郑州市郑州航空港区新港大道与人民路交叉口智能终端手机产业园B区12号楼1、2层

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

C23C1450

代理机构：

郑州浩翔专利代理事务所(特殊普通合伙) 41149

代理人：

边延松

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-06-11	授权	授权
2019-08-20	公开	公开
2019-09-13	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/35 申请日:20190429

共 50 条

[1]

一种磁控溅射镀膜设备 [P].

庄湧楚 .

中国专利 :CN220812600U ,2024-04-19

[2]

磁控溅射镀膜设备 [P].

徐锐 .

中国专利 :CN118957520A ,2024-11-15

[3]

一种磁控溅射镀膜设备 [P].

刘国新 ;

朱爱军 .

中国专利 :CN212451613U ,2021-02-02

[4]

磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

田杰成 ;

李俊 .

中国专利 :CN215517615U ,2022-01-14

[5]

磁控溅射镀膜装置 [P].

张春杰 .

中国专利 :CN103898462B ,2014-07-02

[6]

磁控溅射镀膜仪 [P].

邾根祥 ;

方辉 ;

江晓平 ;

朱沫浥 ;

王卫 .

中国专利 :CN205821445U ,2016-12-21

[7]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[8]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

魏佳 ;

卢成 ;

陈科 .

中国专利 :CN117721429B ,2024-04-23

[9]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08

[10]

磁控溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

周云 ;

曹辉 ;

解文骏 ;

龙风琴 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN119194388A ,2024-12-27

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