磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710949826.6

申请日：

2017-10-12

公开(公告)号：

CN107794496A

公开(公告)日：

2018-03-13

发明(设计)人：

杨伟顺蒙峻蔺晓建马向利张晓鹰

申请人：

申请人地址：

730000 甘肃省兰州市城关区南昌路509号

IPC主分类号：

C23C1404

IPC分类号：

C23C1435 C23C1406

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司 11021

代理人：

张成新

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2018-03-13	公开	公开
2018-04-06	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20171012
2021-07-30	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/04 申请公布日:20180313

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

魏佳 ;

卢成 ;

陈科 .

中国专利 :CN117721429B ,2024-04-23

[2]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08

[3]

磁控溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

周云 ;

曹辉 ;

解文骏 ;

龙风琴 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN119194388A ,2024-12-27

[4]

磁控溅射镀膜设备 [P].

程厚义 ;

丁庆 ;

杜寅昌 ;

李玉婷 .

中国专利 :CN309358958S ,2025-06-27

[5]

磁控溅射镀膜设备 [P].

蒋文彬 ;

李宁 ;

孙忠 ;

黄智 ;

林锦华 ;

梁师国 ;

英文 ;

李保良 .

中国专利 :CN204474751U ,2015-07-15

[6]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN104878361B ,2015-09-02

[7]

磁控溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

周云 ;

曹辉 ;

解文骏 ;

龙风琴 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN119194388B ,2025-02-07

[8]

磁控溅射镀膜设备 [P].

谢守荣 ;

余华骏 ;

叶光岱 ;

陈游 ;

黄颖 .

中国专利 :CN105821388A ,2016-08-03

[9]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN204752843U ,2015-11-11

[10]

磁控溅射镀膜设备 [P].

臧世伟 ;

刘文卿 .

中国专利 :CN308478620S ,2024-02-20

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