磁控溅射镀膜设备

被引:0
专利类型
实用新型
申请号
CN201520146699.2
申请日
2015-03-16
公开(公告)号
CN204474751U
公开(公告)日
2015-07-15
发明(设计)人
蒋文彬 李宁 孙忠 黄智 林锦华 梁师国 英文 李保良
申请人
申请人地址
570125 海南省海口市龙华区滨海大道103号财富广场20层
IPC主分类号
C23C1435
IPC分类号
代理机构
北京集佳知识产权代理有限公司 11227
代理人
李海建
法律状态
专利申请权、专利权的转移
国省代码
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共 50 条
[1]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
王健文 ;
李学欧 ;
蔡东锋 ;
梁凯基 ;
李劲川 .
中国专利 :CN201437550U ,2010-04-14
[2]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
刘玉华 ;
方凤军 .
中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08
[3]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
张心凤 ;
郑杰 ;
尹辉 .
中国专利 :CN204752843U ,2015-11-11
[4]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
臧世伟 ;
请求不公布姓名 .
中国专利 :CN222455186U ,2025-02-11
[5]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
张心凤 ;
郑杰 ;
尹辉 .
中国专利 :CN204727943U ,2015-10-28
[6]
磁控溅射镀膜设备 [P]. 
刘玉华 ;
方凤军 .
中国专利 :CN204455280U ,2015-07-08
[7]
磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备 [P]. 
田杰成 ;
李俊 .
中国专利 :CN215517615U ,2022-01-14
[8]
磁控溅射镀膜装置 [P]. 
刘龙龙 ;
李亮生 ;
祁文杰 ;
刘群 .
中国专利 :CN223445626U ,2025-10-17
[9]
磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P]. 
杨伟顺 ;
蒙峻 ;
蔺晓建 ;
马向利 ;
张晓鹰 .
中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13
[10]
磁控溅射圆柱靶及磁控溅射镀膜设备 [P]. 
罗金豪 ;
解传佳 ;
潘俊杰 ;
赵贤贵 .
中国专利 :CN222119368U ,2024-12-06