磁控溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN200920058010.5

申请日：

2009-06-08

公开(公告)号：

CN201437550U

公开(公告)日：

2010-04-14

发明(设计)人：

王健文李学欧蔡东锋梁凯基李劲川

申请人：

申请人地址：

526020 广东省肇庆市厂排街一巷60号

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

郝传鑫

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2015-07-29	专利权的终止	未缴年费专利权终止号牌文件类型代码:1605 号牌文件序号:101619008120 IPC(主分类):C23C 14/35 专利号:ZL2009200580105 申请日:20090608 授权公告日:20100414 终止日期:20140608
2010-04-14	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜设备 [P].

蒋文彬 ;

李宁 ;

孙忠 ;

黄智 ;

林锦华 ;

梁师国 ;

英文 ;

李保良 .

中国专利 :CN204474751U ,2015-07-15

[2]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08

[3]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN204752843U ,2015-11-11

[4]

磁控溅射镀膜设备 [P].

臧世伟 ;

请求不公布姓名 .

中国专利 :CN222455186U ,2025-02-11

[5]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN204727943U ,2015-10-28

[6]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455280U ,2015-07-08

[7]

磁控溅射镀膜设备用旋转装置及磁控溅射镀膜设备 [P].

田杰成 ;

李俊 .

中国专利 :CN215517615U ,2022-01-14

[8]

磁控溅射镀膜仪 [P].

邾根祥 ;

方辉 ;

江晓平 ;

朱沫浥 ;

王卫 .

中国专利 :CN205821445U ,2016-12-21

[9]

磁控溅射镀膜装置 [P].

刘龙龙 ;

李亮生 ;

祁文杰 ;

刘群 .

中国专利 :CN223445626U ,2025-10-17

[10]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

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