磁控溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201610357013.3

申请日：

2016-05-25

公开(公告)号：

CN105821388A

公开(公告)日：

2016-08-03

发明(设计)人：

谢守荣余华骏叶光岱陈游黄颖

申请人：

申请人地址：

523141 广东省东莞市麻涌镇新基村南玻绿色能源产业园东莞南玻工程玻璃有限公司

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

广州三环专利代理有限公司 44202

代理人：

张艳美;郝传鑫

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-31	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101676758176 IPC(主分类):C23C 14/35 专利申请号:2016103570133 申请日:20160525
2017-11-03	著录事项变更	著录事项变更 IPC(主分类):C23C 14/35 变更事项:发明人变更前:谢守荣余华骏叶光岱陈游黄颖变更后:谢守荣余华骏梁瑞记黄颖艾发智
2016-08-03	公开	公开
2019-09-20	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C23C 14/35 申请公布日:20160803

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜设备 [P].

史甲 .

中国专利 :CN223496591U ,2025-10-31

[2]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[3]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

魏佳 ;

卢成 ;

陈科 .

中国专利 :CN117721429B ,2024-04-23

[4]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08

[5]

磁控溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

周云 ;

曹辉 ;

解文骏 ;

龙风琴 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN119194388A ,2024-12-27

[6]

磁控溅射镀膜设备 [P].

程厚义 ;

丁庆 ;

杜寅昌 ;

李玉婷 .

中国专利 :CN309358958S ,2025-06-27

[7]

磁控溅射镀膜设备 [P].

蒋文彬 ;

李宁 ;

孙忠 ;

黄智 ;

林锦华 ;

梁师国 ;

英文 ;

李保良 .

中国专利 :CN204474751U ,2015-07-15

[8]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN104878361B ,2015-09-02

[9]

磁控溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

周云 ;

曹辉 ;

解文骏 ;

龙风琴 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN119194388B ,2025-02-07

[10]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN204752843U ,2015-11-11

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