磁控溅射镀膜设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202423031095.1

申请日：

2024-12-09

公开(公告)号：

CN223496591U

公开(公告)日：

2025-10-31

发明(设计)人：

史甲

申请人：

浙江创芯集成电路有限公司

申请人地址：

311200 浙江省杭州市萧山区宁围街道平澜路2118号浙江大学杭州国际科创中心水博园区11幢4层-5层（自主申报）

IPC主分类号：

C23C14/35

IPC分类号：

代理机构：

上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327

代理人：

李阜矫

法律状态：

授权

国省代码：

浙江省杭州市

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-10-31	授权	授权

共 50 条

[1]

磁控溅射镀膜设备 [P].

谢守荣 ;

余华骏 ;

叶光岱 ;

陈游 ;

黄颖 .

中国专利 :CN105821388A ,2016-08-03

[2]

磁控溅射镀膜设备和磁控溅射镀膜方法 [P].

杨伟顺 ;

蒙峻 ;

蔺晓建 ;

马向利 ;

张晓鹰 .

中国专利 :CN107794496A ,2018-03-13

[3]

磁控溅射镀膜设备 [P].

王伟 ;

张勇军 ;

魏佳 ;

卢成 ;

陈科 .

中国专利 :CN117721429B ,2024-04-23

[4]

磁控溅射镀膜设备 [P].

刘玉华 ;

方凤军 .

中国专利 :CN204455279U ,2015-07-08

[5]

磁控溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

周云 ;

曹辉 ;

解文骏 ;

龙风琴 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN119194388A ,2024-12-27

[6]

磁控溅射镀膜设备 [P].

程厚义 ;

丁庆 ;

杜寅昌 ;

李玉婷 .

中国专利 :CN309358958S ,2025-06-27

[7]

磁控溅射镀膜设备 [P].

蒋文彬 ;

李宁 ;

孙忠 ;

黄智 ;

林锦华 ;

梁师国 ;

英文 ;

李保良 .

中国专利 :CN204474751U ,2015-07-15

[8]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN104878361B ,2015-09-02

[9]

磁控溅射镀膜设备 [P].

睢智峰 ;

周云 ;

曹辉 ;

解文骏 ;

龙风琴 ;

宋维聪 .

中国专利 :CN119194388B ,2025-02-07

[10]

磁控溅射镀膜设备 [P].

张心凤 ;

郑杰 ;

尹辉 .

中国专利 :CN204752843U ,2015-11-11

← 1 2 3 4 5 →