厚度测量装置和厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201710105804.1

申请日：

2017-02-24

公开(公告)号：

CN107305118A

公开(公告)日：

2017-10-31

发明(设计)人：

本胁淑雄

申请人：

申请人地址：

日本国山梨县南都留郡忍野村忍草字古马场3580番地

IPC主分类号：

G01B1106

IPC分类号：

代理机构：

北京友联知识产权代理事务所(普通合伙) 11343

代理人：

尚志峰;汪海屏

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-03-08	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G01B 11/06 申请日:20170224
2022-07-01	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G01B 11/06 申请公布日:20171031
2017-10-31	公开	公开

共 50 条

[1]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279969A ,2015-01-14

[2]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763A ,2021-01-12

[3]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763B ,2025-10-03

[4]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

日本专利 :CN114325734B ,2025-02-25

[5]

厚度测量装置与厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279968B ,2018-05-22

[6]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

D·克雷坦 .

中国专利 :CN104619264A ,2015-05-13

[7]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN114325734A ,2022-04-12

[8]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN107037437B ,2017-08-11

[9]

膜厚度测量装置和膜厚度测量方法 [P].

高柳顺 ;

大竹秀幸 ;

相京秀幸 ;

藤沢泰成 ;

锅岛淳男 .

中国专利 :CN105403178A ,2016-03-16

[10]

硅片厚度测量装置和硅片厚度测量方法 [P].

吴金隆 .

中国专利 :CN117352409A ,2024-01-05

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