厚度测量装置及厚度测量方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210019117.9

申请日：

2017-01-23

公开(公告)号：

CN114325734B

公开(公告)日：

2025-02-25

发明(设计)人：

丰田一贵泽村义巳

申请人：

大塚电子株式会社

申请人地址：

日本大阪府

IPC主分类号：

G01S17/08

IPC分类号：

G01S7/481

代理机构：

隆天知识产权代理有限公司 72003

代理人：

崔炳哲

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-02-25	授权	授权

共 50 条

[1]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

D·克雷坦 .

中国专利 :CN104619264A ,2015-05-13

[2]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN114325734A ,2022-04-12

[3]

厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

丰田一贵 ;

泽村义巳 .

中国专利 :CN107037437B ,2017-08-11

[4]

硅片厚度测量装置及厚度测量方法 [P].

张宁轩 .

中国专利 :CN119573530A ,2025-03-07

[5]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279969A ,2015-01-14

[6]

厚度测量装置与厚度测量方法 [P].

金在完 ;

金钟安 ;

姜宙植 ;

陈宗汉 .

中国专利 :CN104279968B ,2018-05-22

[7]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

本胁淑雄 .

中国专利 :CN107305118A ,2017-10-31

[8]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763A ,2021-01-12

[9]

厚度测量装置和厚度测量方法 [P].

梁海飞 ;

张曜矿 .

中国专利 :CN112212763B ,2025-10-03

[10]

厚度测量装置及测量方法 [P].

郭志鑫 ;

陈华 ;

李未 ;

陈新喜 ;

沈健 ;

王欣 ;

何建军 ;

何超 ;

黄国翃 ;

支霄翔 ;

余林峰 ;

许浒 .

中国专利 :CN103940327A ,2014-07-23

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