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气体质量流量控制器及故障自检方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010939170.1
申请日：
2020-09-09
公开(公告)号：
CN112000139A
公开(公告)日：
2020-11-27
发明(设计)人：
邹义涛
赵迪
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室
IPC主分类号：
G05D706
IPC分类号：
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-27 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 7/06 申请日:20200909 |