共 50 条
[1]
[2]
[3]
[4]
[5]
[6]
[7]
[8]
[9]
[10]
气体质量流量控制器
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202010900168.3
申请日：
2020-08-31
公开(公告)号：
CN112000138A
公开(公告)日：
2020-11-27
发明(设计)人：
王振东
陈正堂
赵迪
申请人：
申请人地址：
100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道8号1幢506室
IPC主分类号：
G05D706
IPC分类号：
G01F186
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
彭瑞欣;王婷
法律状态：
公开
国省代码：
引用
下载
收藏
法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2020-11-27 | 公开 | 公开 |
| 2020-12-15 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):G05D 7/06 申请日:20200831 |