一种离子注入设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201922093347.6

申请日：

2019-11-28

公开(公告)号：

CN210429730U

公开(公告)日：

2020-04-28

发明(设计)人：

周波林锦辉陈飞郑志雄吴虎

申请人：

申请人地址：

620500 四川省眉山市仁寿县文林工业园区管委会办公楼一楼

IPC主分类号：

H01J37317

IPC分类号：

H01L21266 H01L21677 H01L2168

代理机构：

广州粤高专利商标代理有限公司 44102

代理人：

李健威

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-04-28	授权	授权

共 50 条

[1]

一种离子注入设备 [P].

周波 ;

林锦辉 ;

陈飞 ;

郑志雄 ;

吴虎 .

中国专利 :CN210535625U ,2020-05-15

[2]

离子注入设备 [P].

洪俊华 ;

沈培俊 .

中国专利 :CN203932014U ,2014-11-05

[3]

离子注入设备、离子注入装置 [P].

廖祥华 ;

贺金良 ;

余懍智 ;

杨树鑫 .

中国专利 :CN223552495U ,2025-11-14

[4]

离子注入设备和离子注入方法 [P].

黄奔 .

中国专利 :CN107346724A ,2017-11-14

[5]

离子注入设备 [P].

洪俊华 ;

沈培俊 .

中国专利 :CN106233422A ,2016-12-14

[6]

离子注入设备 [P].

徐义 ;

张时阁 .

中国专利 :CN209804588U ,2019-12-17

[7]

离子注入设备 [P].

何川 ;

洪俊华 ;

张劲 ;

陈炯 ;

杨勇 .

中国专利 :CN207269015U ,2018-04-24

[8]

离子注入设备 [P].

何川 ;

洪俊华 ;

张劲 ;

陈炯 ;

杨勇 .

中国专利 :CN207458887U ,2018-06-05

[9]

一种离子注入设备 [P].

王学伟 ;

董英宾 ;

胡双 ;

朱可杰 ;

肖广纯 .

中国专利 :CN205428882U ,2016-08-03

[10]

一种离子注入设备 [P].

王开军 .

中国专利 :CN208538798U ,2019-02-22

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