一种离子注入设备

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620241814.9

申请日：

2016-03-25

公开(公告)号：

CN205428882U

公开(公告)日：

2016-08-03

发明(设计)人：

王学伟董英宾胡双朱可杰肖广纯

申请人：

申请人地址：

017000 内蒙古自治区鄂尔多斯市东胜区装备制造基地

IPC主分类号：

H01L2167

IPC分类号：

H01L21265 H01J37317

代理机构：

北京中博世达专利商标代理有限公司 11274

代理人：

申健

法律状态：

授权

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-08-03	授权	授权

共 50 条

[1]

离子注入设备和离子注入方法 [P].

李军华 ;

罗承先 .

中国专利 :CN121075894A ,2025-12-05

[2]

离子注入设备及离子注入方法 [P].

於成星 ;

刘小辉 ;

张和 ;

周静兰 ;

刘修忠 ;

沈保家 ;

李军辉 .

中国专利 :CN112820613B ,2021-05-18

[3]

离子注入设备 [P].

徐义 ;

张时阁 .

中国专利 :CN209804588U ,2019-12-17

[4]

离子注入设备 [P].

洪俊华 ;

沈培俊 .

中国专利 :CN203932014U ,2014-11-05

[5]

离子注入设备 [P].

何川 ;

洪俊华 ;

张劲 ;

陈炯 ;

杨勇 .

中国专利 :CN207269015U ,2018-04-24

[6]

离子注入设备 [P].

何川 ;

洪俊华 ;

张劲 ;

陈炯 ;

杨勇 .

中国专利 :CN207458887U ,2018-06-05

[7]

一种离子注入设备 [P].

周波 ;

林锦辉 ;

陈飞 ;

郑志雄 ;

吴虎 .

中国专利 :CN210535625U ,2020-05-15

[8]

一种离子注入设备 [P].

周波 ;

林锦辉 ;

陈飞 ;

郑志雄 ;

吴虎 .

中国专利 :CN210429730U ,2020-04-28

[9]

一种离子注入设备 [P].

王开军 .

中国专利 :CN208538798U ,2019-02-22

[10]

一种离子注入设备 [P].

秦宏志 ;

钱吴全 ;

蔡国辉 ;

李伟 .

中国专利 :CN200986914Y ,2007-12-05

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