一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法与装置

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110377988.X

申请日：

2011-11-12

公开(公告)号：

CN102495531A

公开(公告)日：

2012-06-13

发明(设计)人：

谭久彬杨远源王雷

申请人：

申请人地址：

150001 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

H01L2167 H01L21677

代理机构：

代理人：

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-18	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101298511240 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:201110377988X 申请日:20111112
2014-02-05	授权	授权
2012-06-13	公开	公开

共 50 条

[1]

一种基于转台齿轮同步调向的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN102508414B ,2012-06-20

[2]

一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN102393613A ,2012-03-28

[3]

一种基于测量位自转调向的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

王雷 ;

杨远源 .

中国专利 :CN102393608B ,2012-03-28

[4]

基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刘永猛 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102402133A ,2012-04-04

[5]

基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

闻荣伟 ;

刘永猛 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102520587B ,2012-06-27

[6]

基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刘永猛 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495528A ,2012-06-13

[7]

具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN112835271A ,2021-05-25

[8]

具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN112835271B ,2024-04-26

[9]

一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495527A ,2012-06-13

[10]

一种基于双导轨双驱步进扫描的双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102419517B ,2012-04-18

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