具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110067156.1

申请日：

2021-01-19

公开(公告)号：

CN112835271A

公开(公告)日：

2021-05-25

发明(设计)人：

顾峥伍强李艳丽

申请人：

申请人地址：

201800 上海市嘉定区叶城路1288号6幢JT2216室

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275

代理人：

张磊;吴世华

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 7/20 申请日:20210119
2021-05-25	公开	公开

共 50 条

[1]

具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN112835271B ,2024-04-26

[2]

双工件台垂直曝光装置 [P].

平洁 .

中国专利 :CN205539932U ,2016-08-31

[3]

基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刘永猛 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102402133A ,2012-04-04

[4]

基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

闻荣伟 ;

刘永猛 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102520587B ,2012-06-27

[5]

光刻机的双工件台系统 [P].

郑乐平 ;

顾鲜红 .

中国专利 :CN102193323B ,2011-09-21

[6]

光刻机的双工件台系统 [P].

郑乐平 ;

顾鲜红 .

中国专利 :CN101770181A ,2010-07-07

[7]

双工件台柔性卷带曝光装置及曝光方法 [P].

李志丹 ;

陈勇辉 ;

李会丽 .

中国专利 :CN109856925A ,2019-06-07

[8]

双工件台交换结构及其交换方法 [P].

赵辉 ;

杨志勇 .

中国专利 :CN102566292A ,2012-07-11

[9]

一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN102495531A ,2012-06-13

[10]

一种基于同步齿轮调向的双工件台回转交换装置 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN102393613A ,2012-03-28

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