双工件台交换结构及其交换方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201010618411.9

申请日：

2010-12-30

公开(公告)号：

CN102566292A

公开(公告)日：

2012-07-11

发明(设计)人：

赵辉杨志勇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张东路1525号

IPC主分类号：

G03F720

IPC分类号：

代理机构：

上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237

代理人：

屈蘅;李时云

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-07-11	公开	公开
2017-08-22	专利权人的姓名或者名称、地址的变更	专利权人的姓名或者名称、地址的变更号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101757620492 IPC(主分类):G03F 7/20 专利号:ZL2010106184119 变更事项:专利权人变更前:上海微电子装备有限公司变更后:上海微电子装备(集团)股份有限公司变更事项:地址变更前:201203 上海市浦东新区张东路1525号变更后:201203 上海市浦东新区张东路1525号
2014-06-18	授权	授权
2012-09-12	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101324739288 IPC(主分类):G03F 7/20 专利申请号:2010106184119 申请日:20101230

共 50 条

[1]

具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN112835271A ,2021-05-25

[2]

具有旋转交换双工件台的光刻装置的曝光方法 [P].

顾峥 ;

伍强 ;

李艳丽 .

中国专利 :CN112835271B ,2024-04-26

[3]

基于单/双驱步进扫描的双工件台外侧交换装置 [P].

谭久彬 ;

崔继文 ;

马伟 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495532A ,2012-06-13

[4]

基于线缆盒防转机构的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

闻荣伟 ;

刘永猛 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102520587B ,2012-06-27

[5]

基于并联机构的双工件台同相位回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刘永猛 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102402133A ,2012-04-04

[6]

基于随动防转机构双工件台同相位回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

刘永猛 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495528A ,2012-06-13

[7]

过梁式单/双导轨双驱步进扫描双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

王绍凯 ;

崔继文 .

中国专利 :CN102393609B ,2012-03-28

[8]

双工件台夹持机构 [P].

袁志扬 ;

李巍 ;

吴小传 .

中国专利 :CN102487030B ,2012-06-06

[9]

一种基于自主同步调向的双工件台回转交换方法与装置 [P].

谭久彬 ;

杨远源 ;

王雷 .

中国专利 :CN102495531A ,2012-06-13

[10]

一种基于单/双驱动步进扫描的双工件台交换装置与方法 [P].

谭久彬 ;

马伟 ;

崔继文 ;

金国良 .

中国专利 :CN102495527A ,2012-06-13

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