流体控制装置、流体控制方法和程序存储介质

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201810715000.8

申请日：

2018-07-03

公开(公告)号：

CN109207963B

公开(公告)日：

2019-01-15

发明(设计)人：

西里洋

申请人：

申请人地址：

日本京都府

IPC主分类号：

C23C16455

IPC分类号：

C23C1652 F16K3102 F16K3700 H01L2167

代理机构：

北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290

代理人：

鹿屹;李雪春

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2019-01-15	公开	公开
2022-07-05	授权	授权
2020-06-26	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 16/455 申请日:20180703

共 50 条

[1]

流体控制装置、控制系统、控制方法和程序存储介质 [P].

安田忠弘 ;

托马斯·霍克 .

中国专利 :CN109237102B ,2019-01-18

[2]

流体控制装置、流体控制装置的控制方法和程序存储介质 [P].

赤土和也 .

中国专利 :CN114542780A ,2022-05-27

[3]

流体控制装置和流体控制装置用程序存储介质 [P].

松浦和宏 ;

山口正男 ;

长井健太郎 .

中国专利 :CN108536180B ,2018-09-14

[4]

流体控制装置、流体控制装置用控制单元、流体控制方法和存储介质 [P].

滨田千宽 ;

林大介 .

日本专利 :CN120653024A ,2025-09-16

[5]

流体控制装置、流体控制系统、诊断方法和程序记录介质 [P].

松本飒太 ;

长井健太郎 ;

今里裕子 .

日本专利 :CN111693230B ,2025-05-13

[6]

流体控制装置、流体控制系统、诊断方法和程序记录介质 [P].

松本飒太 ;

长井健太郎 ;

今里裕子 .

中国专利 :CN111693230A ,2020-09-22

[7]

流体控制装置、存储介质和控制方法 [P].

安田忠弘 ;

托马斯·霍克 ;

瑞安·欧文斯 ;

麦斯米兰·冈德拉赫 ;

帕特里克·洛厄里 ;

约翰·迪克 ;

吉田友洸 .

中国专利 :CN109000020B ,2018-12-14

[8]

流体控制装置、流体控制系统、记录介质及流体控制方法 [P].

松本飒太 ;

长井健太郎 ;

久森阳介 ;

松浦和宏 .

中国专利 :CN115523425A ,2022-12-27

[9]

流体控制装置、流体控制阀的控制方法、流体控制方法、以及流体控制程序 [P].

中家佑吾 ;

西里洋 .

日本专利 :CN120780034A ,2025-10-14

[10]

流体控制装置 [P].

武旭东 ;

苏乾益 ;

邹义涛 .

中国专利 :CN216351959U ,2022-04-19

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