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旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机
被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN96218605.8
申请日：
1996-08-09
公开(公告)号：
CN2290608Y
公开(公告)日：
1998-09-09
发明(设计)人：
王福贞
申请人：
申请人地址：
100027北京市朝阳区新源街07楼3门401
IPC主分类号：
C23C1422
IPC分类号：
代理机构：
代理人：
法律状态：
专利权的终止未缴年费专利权终止
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2002-09-18 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 | 专利权的终止未缴年费专利权终止 |
| 1998-09-09 | 授权 | 授权 |