旋转磁控柱状多弧源-平面磁控溅射源离子镀膜机

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN95226243.6

申请日：

1995-11-22

公开(公告)号：

CN2233931Y

公开(公告)日：

1996-08-28

发明(设计)人：

王福贞

申请人：

申请人地址：

100027北京市朝阳区新源街07楼3门401

IPC主分类号：

C23C1435

IPC分类号：

代理机构：

代理人：

法律状态：

专利权的终止未缴年费专利权终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2003-12-24	专利权的终止未缴年费专利权终止	专利权的终止未缴年费专利权终止
1996-08-28	授权	授权

共 50 条

[1]

旋转磁控柱状弧源多弧离子镀膜机 [P].

王福贞 .

中国专利 :CN2290608Y ,1998-09-09

[2]

旋转磁控柱状弧源─平面弧源多弧离子镀膜机 [P].

王福贞 .

中国专利 :CN2279366Y ,1998-04-22

[3]

多弧磁控离子镀膜机 [P].

彭道移 .

中国专利 :CN103103481A ,2013-05-15

[4]

磁控溅射离子镀膜机 [P].

黄毓彬 .

中国专利 :CN306542169S ,2021-05-14

[5]

玻璃磁控多弧离子镀膜机 [P].

伍振良 .

中国专利 :CN202482421U ,2012-10-10

[6]

蚌形双室柱状弧源多弧离子镀膜机 [P].

王福贞 ;

朱刚毅 .

中国专利 :CN2374553Y ,2000-04-19

[7]

弧源及多弧离子镀膜机 [P].

王思航 .

中国专利 :CN217479540U ,2022-09-23

[8]

双端磁控溅射离子镀膜机 [P].

彭传才 ;

魏敏 ;

胡云慧 ;

田雨时 ;

刘重光 ;

金昭廷 ;

黄广连 .

中国专利 :CN2186249Y ,1994-12-28

[9]

多弧离子镀膜机 [P].

王君 ;

王思航 ;

闫超颖 ;

汪友林 ;

李昌华 .

中国专利 :CN214572201U ,2021-11-02

[10]

自动镀膜多弧离子镀膜机 [P].

吴砚东 .

中国专利 :CN2619948Y ,2004-06-09

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