一种三氯氢硅合成尾气回收方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN200910021719.2

申请日：

2009-03-27

公开(公告)号：

CN101538043B

公开(公告)日：

2009-09-23

发明(设计)人：

陈维平郑开学

申请人：

申请人地址：

710071 陕西省西安市太乙路255号

IPC主分类号：

C01B33107

IPC分类号：

代理机构：

西安文盛专利代理有限公司 61100

代理人：

佘文英

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2009-11-11	实质审查的生效	实质审查的生效
2011-01-26	授权	授权
2009-09-23	公开	公开

共 50 条

[1]

三氯氢硅合成尾气的回收装置及其回收方法 [P].

沈海峰 ;

刘松 .

中国专利 :CN104310406B ,2015-01-28

[2]

一种三氯氢硅合成尾气的干法回收方法 [P].

严大洲 ;

肖荣晖 ;

毋克力 ;

杜俊平 .

中国专利 :CN101638233B ,2010-02-03

[3]

一种三氯氢硅合成尾气回收装置 [P].

梁冉 ;

任刚 ;

郭继文 ;

魏延伟 ;

王吉海 ;

魏永虎 .

中国专利 :CN119633497A ,2025-03-18

[4]

三氯氢硅合成尾气回收利用系统 [P].

王敏强 ;

陈保平 ;

赵剑 ;

张丽烽 .

中国专利 :CN216997671U ,2022-07-19

[5]

一种三氯氢硅合成尾气回收装置 [P].

郭玉蛟 ;

于树奎 ;

王强 ;

贾安波 ;

高慎良 .

中国专利 :CN220572968U ,2024-03-12

[6]

一种三氯氢硅合成尾气回收装置 [P].

丁建峰 .

中国专利 :CN202346775U ,2012-07-25

[7]

一种三氯氢硅生产尾气回收方法 [P].

魏涛 ;

孙文 ;

廖端友 ;

汪玉林 ;

郑云峰 ;

程惠亭 ;

闫小茹 .

中国专利 :CN101125276A ,2008-02-20

[8]

一种三氯氢硅合成尾气净化系统 [P].

武珠峰 ;

郭小红 ;

吴昌勇 .

中国专利 :CN106554019A ,2017-04-05

[9]

三氯氢硅合成尾气的回收处理系统 [P].

张遵 ;

余媛 ;

宋安宁 ;

吕昌彦 ;

孙晓龙 .

中国专利 :CN207745676U ,2018-08-21

[10]

一种三氯氢硅合成尾气的处理方法 [P].

万烨 ;

严大洲 ;

毋克力 ;

肖荣晖 ;

汤传斌 .

中国专利 :CN102814095A ,2012-12-12

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