一种三氯氢硅合成尾气回收装置

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN202321769784.5

申请日：

2023-07-07

公开(公告)号：

CN220572968U

公开(公告)日：

2024-03-12

发明(设计)人：

郭玉蛟于树奎王强贾安波高慎良

申请人：

新泰恒利赢硅业有限公司

申请人地址：

271200 山东省泰安市新泰市小协镇蒙馆公路南

IPC主分类号：

B01D46/24

IPC分类号：

B01D46/12 B01D46/42 B01D53/00 B01D5/00

代理机构：

济南华典专利代理事务所(普通合伙企业) 37293

代理人：

刘江琳

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-07-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止IPC(主分类):B01D 46/24申请日:20230707授权公告日:20240312
2024-03-12	授权	授权

共 50 条

[1]

一种三氯氢硅合成尾气回收装置 [P].

梁冉 ;

任刚 ;

郭继文 ;

魏延伟 ;

王吉海 ;

魏永虎 .

中国专利 :CN119633497A ,2025-03-18

[2]

一种三氯氢硅合成尾气回收装置 [P].

丁建峰 .

中国专利 :CN202346775U ,2012-07-25

[3]

三氯氢硅合成尾气回收利用系统 [P].

王敏强 ;

陈保平 ;

赵剑 ;

张丽烽 .

中国专利 :CN216997671U ,2022-07-19

[4]

三氯氢硅合成尾气的回收装置及其回收方法 [P].

沈海峰 ;

刘松 .

中国专利 :CN104310406B ,2015-01-28

[5]

一种三氯氢硅提纯尾气回收装置 [P].

丁建峰 .

中国专利 :CN202398133U ,2012-08-29

[6]

三氯氢硅尾气回收装置 [P].

宋宜华 .

中国专利 :CN201949786U ,2011-08-31

[7]

一种三氯氢硅合成尾气回收方法 [P].

陈维平 ;

郑开学 .

中国专利 :CN101538043B ,2009-09-23

[8]

三氯氢硅合成尾气回炉燃烧回收利用装置 [P].

梁进 .

中国专利 :CN201587864U ,2010-09-22

[9]

一种三氯氢硅合成装置 [P].

郭继文 ;

任刚 .

中国专利 :CN220803162U ,2024-04-19

[10]

合成三氯氢硅的尾气处理装置 [P].

石明胜 ;

闵运豪 ;

罗涛 ;

杨霖 ;

徐智 .

中国专利 :CN201899898U ,2011-07-20

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