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扫描式曝光设备
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811184835.1
申请日：
2018-10-11
公开(公告)号：
CN111045297A
公开(公告)日：
2020-04-21
发明(设计)人：
许铭案
申请人：
申请人地址：
中国台湾苗栗县头份镇中华路442-1号
IPC主分类号：
G03F720
IPC分类号：
代理机构：
北京汇泽知识产权代理有限公司 11228
代理人：
刘淑敏
法律状态：
发明专利申请公布后的视为撤回
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2022-04-08 | 发明专利申请公布后的视为撤回 | 发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F 7/20 申请公布日:20200421 |
| 2020-04-21 | 公开 | 公开 |