一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202210351933.X

申请日：

2022-04-02

公开(公告)号：

CN114675506B

公开(公告)日：

2025-04-29

发明(设计)人：

冯京刘鹏王志冲苌川川袁广才董学

申请人：

京东方科技集团股份有限公司

申请人地址：

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

IPC主分类号：

G03F7/20

IPC分类号：

代理机构：

北京市铸成律师事务所 11313

代理人：

王云红;翟姝红

法律状态：

授权

国省代码：

北京市市辖区

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2025-04-29	授权	授权

共 50 条

[1]

一种扫描曝光方法及装置、扫描曝光设备 [P].

冯京 ;

刘鹏 ;

王志冲 ;

苌川川 ;

袁广才 ;

董学 .

中国专利 :CN114675506A ,2022-06-28

[2]

扫描曝光设备 [P].

香田徹 ;

筒井慎二 .

中国专利 :CN1299170C ,2004-02-04

[3]

扫描式曝光设备 [P].

许铭案 .

中国专利 :CN205910492U ,2017-01-25

[4]

扫描式曝光设备 [P].

许铭案 .

中国专利 :CN111045297A ,2020-04-21

[5]

数字曝光机的扫描Mura检测方法及装置 [P].

刘鹏 ;

李付强 ;

王志冲 ;

冯京 ;

栾兴龙 ;

袁广才 ;

董学 .

中国专利 :CN111522207B ,2020-08-11

[6]

步进扫描曝光机 [P].

李坤哲 ;

闵兴基 ;

李俊亨 ;

全在根 .

中国专利 :CN105431925A ,2016-03-23

[7]

一种循环式扫描曝光机 [P].

刘保华 ;

徐小龙 ;

管燕彬 .

中国专利 :CN213780637U ,2021-07-23

[8]

一种循环式扫描曝光机 [P].

蔡志国 ;

张米好 ;

江俊龙 ;

农远峰 .

中国专利 :CN210005856U ,2020-01-31

[9]

一种循环式扫描曝光机 [P].

蔡志国 ;

张米好 ;

江俊龙 ;

农远峰 .

中国专利 :CN110286563A ,2019-09-27

[10]

扫描曝光方法以及装置制造方法 [P].

香田徹 ;

筒井慎二 .

中国专利 :CN1800991A ,2006-07-12

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