用于微机械系统的制造方法和微机械系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202010984667.5

申请日：

2020-09-18

公开(公告)号：

CN112520687A

公开(公告)日：

2021-03-19

发明(设计)人：

J·赖因穆特 T·弗里德里希

申请人：

申请人地址：

德国斯图加特

IPC主分类号：

B81C100

IPC分类号：

B81B702 G01L114 G01L912

代理机构：

永新专利商标代理有限公司 72002

代理人：

侯鸣慧

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-03-19	公开	公开

共 50 条

[1]

微机械系统和用于制造微机械系统的方法 [P].

T·考茨施 ;

H·弗雷利施 ;

M·福格特 ;

M·施特格曼 ;

B·宾德 .

中国专利 :CN105217560B ,2016-01-06

[2]

微机械系统和用于制造微机械系统的方法 [P].

S.比泽尔特 ;

B.宾德 ;

H.弗勒利希 ;

T.考奇 ;

M.施特格曼 ;

M.福格特 .

中国专利 :CN105417489B ,2016-03-23

[3]

用于微机械系统的制造方法和微机械系统 [P].

J·赖因穆特 ;

T·弗里德里希 .

德国专利 :CN112520687B ,2025-04-08

[4]

微机械系统以及用于制造微机械系统的方法 [P].

R.福克 ;

D.沙伊布纳 ;

A.沙波林 .

中国专利 :CN102378733A ,2012-03-14

[5]

微机械系统 [P].

T·皮尔克 ;

A·弗兰克 ;

K·克尔 .

中国专利 :CN101842313A ,2010-09-22

[6]

微机械装置及微机械系统 [P].

D·朱斯蒂 ;

M·费雷拉 ;

A·S·萨沃亚 ;

F·夸利亚 .

中国专利 :CN217479067U ,2022-09-23

[7]

射频微机械系统移相器 [P].

朱健 .

中国专利 :CN2562496Y ,2003-07-23

[8]

射频微机械系统移相器 [P].

朱健 .

中国专利 :CN2562497Y ,2003-07-23

[9]

用于容纳微机械系统的装置和方法 [P].

索·巴克 ;

蒂洛·桑德 .

中国专利 :CN101234746B ,2008-08-06

[10]

用于进行化验的微机械系统和方法 [P].

伊曼纽尔·C·埃姆帕克 .

中国专利 :CN101300470B ,2008-11-05

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