微机械系统和用于制造微机械系统的方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510363290.0

申请日：

2015-06-26

公开(公告)号：

CN105417489B

公开(公告)日：

2016-03-23

发明(设计)人：

S.比泽尔特 B.宾德 H.弗勒利希 T.考奇 M.施特格曼 M.福格特

申请人：

申请人地址：

德国德累斯顿

IPC主分类号：

H01L2100

IPC分类号：

代理机构：

中国专利代理(香港)有限公司 72001

代理人：

王岳;徐红燕

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-03-23	公开	公开
2016-04-20	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101656300429 IPC(主分类):B81B 7/02 专利申请号:2015103632900 申请日:20150626
2018-10-19	授权	授权
2021-06-04	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/00 申请日:20150626 授权公告日:20181019 终止日期:20200626

共 50 条

[1]

微机械系统和用于制造微机械系统的方法 [P].

T·考茨施 ;

H·弗雷利施 ;

M·福格特 ;

M·施特格曼 ;

B·宾德 .

中国专利 :CN105217560B ,2016-01-06

[2]

微机械系统以及用于制造微机械系统的方法 [P].

R.福克 ;

D.沙伊布纳 ;

A.沙波林 .

中国专利 :CN102378733A ,2012-03-14

[3]

用于微机械系统的制造方法和微机械系统 [P].

J·赖因穆特 ;

T·弗里德里希 .

中国专利 :CN112520687A ,2021-03-19

[4]

用于微机械系统的制造方法和微机械系统 [P].

J·赖因穆特 ;

T·弗里德里希 .

德国专利 :CN112520687B ,2025-04-08

[5]

微机械系统 [P].

T·皮尔克 ;

A·弗兰克 ;

K·克尔 .

中国专利 :CN101842313A ,2010-09-22

[6]

微机械装置及微机械系统 [P].

D·朱斯蒂 ;

M·费雷拉 ;

A·S·萨沃亚 ;

F·夸利亚 .

中国专利 :CN217479067U ,2022-09-23

[7]

射频微机械系统移相器 [P].

朱健 .

中国专利 :CN2562496Y ,2003-07-23

[8]

射频微机械系统移相器 [P].

朱健 .

中国专利 :CN2562497Y ,2003-07-23

[9]

用于容纳微机械系统的装置和方法 [P].

索·巴克 ;

蒂洛·桑德 .

中国专利 :CN101234746B ,2008-08-06

[10]

用于进行化验的微机械系统和方法 [P].

伊曼纽尔·C·埃姆帕克 .

中国专利 :CN101300470B ,2008-11-05

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