机械手臂、掩膜检测装置、及掩膜检测系统

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN202110917353.8

申请日：

2021-08-11

公开(公告)号：

CN113524256A

公开(公告)日：

2021-10-22

发明(设计)人：

孙飞张仕然

申请人：

申请人地址：

230000 安徽省合肥市经济技术开发区空港工业园兴业大道388号

IPC主分类号：

B25J1800

IPC分类号：

B25J1900

代理机构：

上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294

代理人：

孙佳胤

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-11-09	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):B25J 18/00 申请日:20210811
2021-10-22	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜检测装置和掩膜检测方法 [P].

小日向秀夫 .

中国专利 :CN1298203A ,2001-06-06

[2]

掩膜缺陷检测装置 [P].

朴时映 .

中国专利 :CN102023162A ,2011-04-20

[3]

掩膜板缺陷检测装置 [P].

朱骏 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN102519968A ,2012-06-27

[4]

光掩膜的缺陷检测系统及光掩膜的缺陷检测方法 [P].

卢子轩 ;

王跃刚 ;

杨晓松 .

中国专利 :CN106154740A ,2016-11-23

[5]

掩膜板检测装置及检测方法 [P].

董云 ;

彭志龙 .

中国专利 :CN101989038A ,2011-03-23

[6]

一种掩膜版检测装置及方法、掩膜版库设备 [P].

唐文力 ;

祝玥华 ;

吴钱忠 ;

朱骏宇 ;

陈淮阳 .

中国专利 :CN110941145B ,2021-07-30

[7]

掩膜板异物检测设备 [P].

彭兆基 ;

蒋明华 .

中国专利 :CN209263906U ,2019-08-16

[8]

掩膜板清洗装置和掩膜板清洗系统 [P].

杨成发 ;

黄俊杰 ;

尹志 ;

刘旭 ;

王震 ;

井昱 .

中国专利 :CN207502906U ,2018-06-15

[9]

掩膜板真空对位装置 [P].

杨明生 ;

张永红 ;

刘惠森 ;

范继良 ;

王曼媛 .

中国专利 :CN102184934B ,2011-09-14

[10]

掩膜组件及掩膜组件的制造方法 [P].

金相勋 .

中国专利 :CN109585696A ,2019-04-05

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