光掩膜的缺陷检测系统及光掩膜的缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201510149073.1

申请日：

2015-03-31

公开(公告)号：

CN106154740A

公开(公告)日：

2016-11-23

发明(设计)人：

卢子轩王跃刚杨晓松

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江路18号

IPC主分类号：

G03F144

IPC分类号：

G03F172 G01N2188

代理机构：

北京康信知识产权代理有限责任公司 11240

代理人：

吴贵明;张永明

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2016-11-23	公开	公开
2016-12-21	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101692526235 IPC(主分类):G03F 1/44 专利申请号:2015101490731 申请日:20150331
2020-08-28	发明专利申请公布后的驳回	发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):G03F 1/44 申请公布日:20161123

共 50 条

[1]

掩膜板缺陷检测方法 [P].

朱骏 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN102411260A ,2012-04-11

[2]

掩膜板缺陷检测装置 [P].

朱骏 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN102519968A ,2012-06-27

[3]

一种掩膜图形缺陷的检测方法及系统 [P].

郭贵琦 ;

赵蓓 .

中国专利 :CN104317159A ,2015-01-28

[4]

一种掩膜图形缺陷的检测方法及系统 [P].

郭贵琦 ;

赵蓓 .

中国专利 :CN102193302A ,2011-09-21

[5]

光学膜缺陷检测系统及应用其的光学膜缺陷检测方法 [P].

吴精文 ;

林宽宏 ;

陈重宇 .

中国专利 :CN117368229A ,2024-01-09

[6]

用于半色调掩膜版HTM的缺陷标准样片及缺陷检测方法 [P].

宋恺 ;

熊启龙 .

中国专利 :CN118092065A ,2024-05-28

[7]

光掩膜数据检测方法、监测结构以及掩膜版 [P].

蔡孟峰 ;

黄晨 .

中国专利 :CN108628090A ,2018-10-09

[8]

光罩缺陷检测方法及系统 [P].

侯力华 ;

许文豪 .

中国专利 :CN113970557B ,2022-01-25

[9]

基于频闪切换照明的掩膜版缺陷检测方法及系统 [P].

周文彩 ;

刘建明 ;

张彦鹏 .

中国专利 :CN113834818A ,2021-12-24

[10]

基于光弹性的缺陷检测方法及系统 [P].

林士圣 ;

游智伟 .

中国专利 :CN121141688A ,2025-12-16

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