掩膜板缺陷检测方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110386285.3

申请日：

2011-11-28

公开(公告)号：

CN102411260A

公开(公告)日：

2012-04-11

发明(设计)人：

朱骏张旭昇

申请人：

申请人地址：

201203 上海市浦东新区张江高科技园区高斯路497号

IPC主分类号：

G03F172

IPC分类号：

代理机构：

隆天国际知识产权代理有限公司 72003

代理人：

吴世华;张龙哺

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2012-05-23	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101250909781 IPC(主分类):G03F 1/72 专利申请号:2011103862853 申请日:20111128
2014-07-16	授权	授权
2012-04-11	公开	公开

共 50 条

[1]

掩膜板缺陷检测装置 [P].

朱骏 ;

张旭昇 .

中国专利 :CN102519968A ,2012-06-27

[2]

光掩膜的缺陷检测系统及光掩膜的缺陷检测方法 [P].

卢子轩 ;

王跃刚 ;

杨晓松 .

中国专利 :CN106154740A ,2016-11-23

[3]

掩膜板的检测方法 [P].

朱瑜杰 ;

陈宏璘 ;

孙强 ;

施春山 .

中国专利 :CN102012631A ,2011-04-13

[4]

一种光刻掩膜板缺陷检测方法及设备和芯片 [P].

陈颖 ;

韦亚一 ;

董立松 ;

陈睿 ;

吴睿轩 ;

粟雅娟 .

中国专利 :CN111257325A ,2020-06-09

[5]

掩膜板检测装置及检测方法 [P].

董云 ;

彭志龙 .

中国专利 :CN101989038A ,2011-03-23

[6]

掩膜板组件及掩膜板组件拼接精度的检测方法 [P].

杨华东 ;

张鹏记 ;

林超 ;

王建禹 .

中国专利 :CN110058486B ,2019-07-26

[7]

减少掩膜板雾状缺陷的方法 [P].

周军 ;

朱亚丹 .

中国专利 :CN103838076A ,2014-06-04

[8]

掩膜板以及应用其检测曝光缺陷的方法 [P].

史大为 ;

郭建 .

中国专利 :CN103324025A ,2013-09-25

[9]

掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法 [P].

朱海彬 ;

董学 ;

袁广才 ;

王伟杰 ;

张峰杰 .

中国专利 :CN109440061A ,2019-03-08

[10]

掩膜板、掩膜板组件及掩膜板的制备方法 [P].

邢汝博 .

中国专利 :CN119932476A ,2025-05-06

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