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掩膜板、掩膜装置、掩膜板的制备方法
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN201811340771.X
申请日：
2018-11-12
公开(公告)号：
CN109440061A
公开(公告)日：
2019-03-08
发明(设计)人：
朱海彬
董学
袁广才
王伟杰
张峰杰
申请人：
申请人地址：
100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112
代理人：
柴亮;张天舒
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2019-03-08 | 公开 | 公开 |
| 2021-08-06 | 授权 | 授权 |
| 2019-04-02 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20181112 |