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掩膜板的制备方法及掩膜板
被引：0
专利类型：
发明
申请号：
CN202011135282.8
申请日：
2020-10-21
公开(公告)号：
CN112251716B
公开(公告)日：
2021-01-22
发明(设计)人：
刘景涛
申请人：
申请人地址：
065500 河北省廊坊市固安新兴示范产业园区
IPC主分类号：
C23C1404
IPC分类号：
C23C1424
代理机构：
北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258
代理人：
娜拉
法律状态：
公开
国省代码：
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法律状态
| 法律状态公告日 | 法律状态 | 法律状态信息 |
| 2021-01-22 | 公开 | 公开 |
| 2021-02-09 | 实质审查的生效 | 实质审查的生效 IPC(主分类):C23C 14/04 申请日:20201021 |
| 2023-01-24 | 授权 | 授权 |