半导体结构及其形成方法

被引:0
申请号
CN202110780852.7
申请日
2021-07-09
公开(公告)号
CN115602727A
公开(公告)日
2023-01-13
发明(设计)人
甘桃 侯永田 周飞 彭小毛
申请人
申请人地址
201203 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路18号
IPC主分类号
H01L2978
IPC分类号
H01L21336 H01L29423
代理机构
上海知锦知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31327
代理人
高静
法律状态
实质审查的生效
国省代码
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共 50 条
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半导体结构及其形成方法 [P]. 
纪世良 ;
肖杏宇 ;
张海洋 .
中国专利 :CN114256351A ,2022-03-29
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谢欣云 .
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韩秋华 .
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