平面式气体传感器衬底上敏感材料的涂覆方法

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专利类型
发明
申请号
CN200510011464.3
申请日
2005-03-23
公开(公告)号
CN1657185A
公开(公告)日
2005-08-24
发明(设计)人
孔祥霞 董汉鹏 张威
申请人
申请人地址
100871北京市海淀区北京大学微电子学研究院青鸟元芯公司
IPC主分类号
B05D500
IPC分类号
B05D724
代理机构
北京君尚知识产权代理事务所
代理人
陈美章
法律状态
专利权的终止
国省代码
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共 50 条
[1]
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