集成平面式气体传感器衬底

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201110441103.8

申请日：

2011-12-26

公开(公告)号：

CN103175866A

公开(公告)日：

2013-06-26

发明(设计)人：

王金兴张克金安宇鹏许德超魏晓川毛亚蓉潘艳春于丽娜

申请人：

申请人地址：

130011 吉林省长春市西新经济技术开发区东风大街2259号

IPC主分类号：

G01N2700

IPC分类号：

代理机构：

吉林长春新纪元专利代理有限责任公司 22100

代理人：

王薇

法律状态：

公开

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2013-06-26	公开	公开
2014-03-26	实质审查的生效	实质审查的生效号牌文件类型代码:1604 号牌文件序号:101581061969 IPC(主分类):G01N 27/00 专利申请号:2011104411038 申请日:20111226
2016-03-30	发明专利申请公布后的视为撤回	发明专利申请公布后的视为撤回号牌文件类型代码:1602 号牌文件序号:101730255274 IPC(主分类):G01N 27/00 专利申请号:2011104411038 申请公布日:20130626

共 50 条

[1]

微型集成式气体传感器 [P].

刘瑞 .

中国专利 :CN211263278U ,2020-08-14

[2]

硅基共平面微型气体传感器芯片及制备微型气体传感器 [P].

张彤 ;

马晓康 ;

费腾 ;

王丽杰 ;

王蕊 ;

贺媛 .

中国专利 :CN102358612A ,2012-02-22

[3]

平面式气体传感器衬底上敏感材料的涂覆方法 [P].

孔祥霞 ;

董汉鹏 ;

张威 .

中国专利 :CN1657185A ,2005-08-24

[4]

具有纳米纤维敏感层的平面式乙炔气体传感器 [P].

梁庆成 ;

高尚 ;

赵建勋 ;

蒋大勇 ;

侯建华 ;

秦杰明 .

中国专利 :CN102645454A ,2012-08-22

[5]

一种硅衬底集成气体传感器 [P].

胡静 .

中国专利 :CN108195885A ,2018-06-22

[6]

气体传感器元件和气体传感器 [P].

梶山理一 .

中国专利 :CN102313762B ,2012-01-11

[7]

一种集成式气体传感器 [P].

王彩红 .

中国专利 :CN214374651U ,2021-10-08

[8]

集成式气体传感器及其检测装置 [P].

余凤 ;

何业湖 ;

刘鸿泰 .

中国专利 :CN215866587U ,2022-02-18

[9]

一种集成式气体传感器 [P].

武芹 .

中国专利 :CN222774547U ,2025-04-18

[10]

一种集成式气体传感器 [P].

克里斯蒂安·斯坦 .

中国专利 :CN208937559U ,2019-06-04

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