一种硅衬底集成气体传感器

被引:0
专利类型
发明
申请号
CN201711422045.8
申请日
2017-12-25
公开(公告)号
CN108195885A
公开(公告)日
2018-06-22
发明(设计)人
胡静
申请人
申请人地址
528000 广东省佛山市三水区西南街道育才路3号107
IPC主分类号
G01N2700
IPC分类号
代理机构
深圳市精英专利事务所 44242
代理人
冯筠
法律状态
公开
国省代码
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共 50 条
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