液供给装置和液供给方法

被引：0

专利类型：

发明

申请号：

CN201880078002.9

申请日：

2018-12-07

公开(公告)号：

CN111433888A

公开(公告)日：

2020-07-17

发明(设计)人：

内藤亮一郎林圣人志手英男井手裕幸龟田洋介户塚诚也舞田集佐藤尊三荒木洋史吉原健太郎

申请人：

申请人地址：

日本东京都

IPC主分类号：

H01L21027

IPC分类号：

B05C500 B05C1100 G03F726

代理机构：

北京尚诚知识产权代理有限公司 11322

代理人：

龙淳;刘芃茜

法律状态：

实质审查的生效

国省代码：

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法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2020-10-16	实质审查的生效	实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/027 申请日:20181207
2020-07-17	公开	公开

共 50 条

[1]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

高栁康治 ;

吉原孝介 ;

寺下裕一 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 .

中国专利 :CN104511408B ,2015-04-15

[2]

处理液供给方法和处理液供给装置 [P].

志手英男 ;

木村一彦 ;

汤本知行 .

中国专利 :CN106024579A ,2016-10-12

[3]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

寺下裕一 ;

吉原孝介 ;

高柳康治 ;

古庄智伸 ;

佐佐卓志 .

中国专利 :CN104517814A ,2015-04-15

[4]

处理液供给方法和处理液供给装置 [P].

吉田勇一 ;

内藤亮一郎 ;

古庄智伸 .

中国专利 :CN106583175B ,2017-04-26

[5]

液供给系统、液处理装置和液供给方法 [P].

长田创 ;

小佐井一树 ;

筱原和义 ;

奥田胜也 ;

盐川俊行 .

日本专利 :CN119013767A ,2024-11-22

[6]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

大久保敬弘 ;

榎木田卓 ;

古庄智伸 .

中国专利 :CN110416119A ,2019-11-05

[7]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

安达健二 .

日本专利 :CN120937113A ,2025-11-11

[8]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

佐佐卓志 ;

柴田大树 .

中国专利 :CN104698758B ,2015-06-10

[9]

处理液供给装置和处理液供给方法 [P].

桥本和也 ;

赤田光 .

日本专利 :CN119028869A ,2024-11-26

[10]

处理液供给装置、处理液供给方法和存储介质 [P].

风间晃太 .

日本专利 :CN120487578A ,2025-08-15

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