一种圆形硅片清洗篮

被引：0

专利类型：

实用新型

申请号：

CN201620773113.X

申请日：

2016-07-19

公开(公告)号：

CN205828359U

公开(公告)日：

2016-12-21

发明(设计)人：

吕海强郑安黄杨康

申请人：

申请人地址：

315200 浙江省宁波市镇海区庄市街道逸夫路177号

IPC主分类号：

H01L21673

IPC分类号：

H01L3118

代理机构：

慈溪慈恒专利代理事务所(特殊普通合伙) 33249

代理人：

戚秋鹏

法律状态：

专利权的终止

国省代码：

引用

下载

收藏

法律状态

法律状态公告日	法律状态	法律状态信息
2021-07-06	专利权的终止	未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20160719 授权公告日:20161221 终止日期:20200719
2016-12-21	授权	授权

共 50 条

[1]

一种硅片清洗篮 [P].

翁燕君 ;

王黎黎 ;

翁振毓 .

中国专利 :CN209487470U ,2019-10-11

[2]

一种硅片清洗篮 [P].

陈建平 ;

王建辉 .

中国专利 :CN220543855U ,2024-02-27

[3]

一种硅片清洗篮 [P].

徐力 .

中国专利 :CN216225852U ,2022-04-08

[4]

一种可使圆形硅片旋转腐蚀的清洗篮 [P].

马玉水 .

中国专利 :CN211828710U ,2020-10-30

[5]

硅片清洗篮 [P].

蒋兴贤 .

中国专利 :CN204912236U ,2015-12-30

[6]

一种新型硅片清洗篮 [P].

王国贵 .

中国专利 :CN212380398U ,2021-01-19

[7]

一种新型硅片清洗篮 [P].

陈锋 ;

沈国君 ;

陆勇 ;

刘太盛 .

中国专利 :CN214378362U ,2021-10-08

[8]

一种圆形硅片清洗机构 [P].

马玉水 .

中国专利 :CN212434580U ,2021-01-29

[9]

下沉式硅片清洗篮 [P].

林玉往 ;

吴宝佳 .

中国专利 :CN204905222U ,2015-12-23

[10]

一种无死角碎硅片清洗篮 [P].

陈凯 ;

秦科明 ;

段晖 ;

蒋超 ;

沈华 .

中国专利 :CN204441265U ,2015-07-01

← 1 2 3 4 5 →