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一种新型硅片清洗篮

被引：0
专利类型：
实用新型
申请号：
CN202120151603.7
申请日：
2021-01-20
公开(公告)号：
CN214378362U
公开(公告)日：
2021-10-08
发明(设计)人：
陈锋 沈国君 陆勇 刘太盛
申请人：
申请人地址：
324300 浙江省衢州市开化县华埠镇银辉路5号
IPC主分类号：
H01L21673
IPC分类号：
代理机构：
温州青科专利代理事务所(特殊普通合伙) 33390
代理人：
钱磊
法律状态：
授权
国省代码：
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法律状态
法律状态公告日 法律状态 法律状态信息
2021-10-08 授权 授权
2022-12-30 专利权的终止 未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/673 申请日:20210120 授权公告日:20211008 终止日期:20220120
共 50 条
[1]
一种新型硅片清洗篮 [P]. 
王国贵 .
中国专利 :CN212380398U ,2021-01-19
[2]
一种硅片清洗篮 [P]. 
翁燕君 ;
王黎黎 ;
翁振毓 .
中国专利 :CN209487470U ,2019-10-11
[3]
一种硅片清洗篮 [P]. 
陈建平 ;
王建辉 .
中国专利 :CN220543855U ,2024-02-27
[4]
一种硅片清洗篮 [P]. 
徐力 .
中国专利 :CN216225852U ,2022-04-08
[5]
硅片清洗篮 [P]. 
蒋兴贤 .
中国专利 :CN204912236U ,2015-12-30
[6]
一种圆形硅片清洗篮 [P]. 
吕海强 ;
郑安 ;
黄杨康 .
中国专利 :CN205828359U ,2016-12-21
[7]
下沉式硅片清洗篮 [P]. 
林玉往 ;
吴宝佳 .
中国专利 :CN204905222U ,2015-12-23
[8]
一种新型晶圆清洗篮 [P]. 
袁黔云 .
中国专利 :CN222015367U ,2024-11-15
[9]
一种新型清洗篮 [P]. 
李志斌 ;
陈艳平 ;
杨泽林 ;
朱斌 ;
汤洁 .
中国专利 :CN221086676U ,2024-06-07
[10]
一种新型清洗篮 [P]. 
张明华 .
中国专利 :CN208592174U ,2019-03-12
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